某半导研发厂家因晶圆刷洗生产工序产生含氨电镀废水，出水量200吨/天。电镀废泥里除氟化物外还含带氟化物和氢化物发生器天价属，办理困难大。立即直接废气排放标准的规范氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 工业废水成份及因素 晶圆除垢废污水（主要的特征）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀加工过程废液：含轻微铜、镍等天价属，pH值起伏大 CMP研磨抛光废污水：含硅颗粒物及氟化物 加工处理工艺设备过程 选择"耐腐蚀发展+膜破乳+折点氯化"组成方法： 预整理 ：添加CaCl2除氟，调控pH在7.5-8. 反渗透膜系統 ：剔除0.01μm以上的小粒物 反融合浸提 ：将氯离子提液至1000mg/L综上所述 折点氯化 ：精确度高操纵氯添加量，将高锰酸盐指数导出为离氮气 铝离子对换 ：服务保障高价属及格 决定效果好 化学需氧量固定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属含氧量远低于查测限 水造纸废水处理率达75% 生活污水产生了量限制40%