某多晶硅硅发生的企业用到纲丝打磨工序,每人每天发生含聚乙二醇(PEG)和氧化硅粉的高盐废气2000吨。废气中PEG密度约15%,氧化硅微粉5%,NaCl3%-5%,具有着高107硅橡胶粘度、难沉降性能特点。
工业废水含量及原因
基本水污染物来源为:1)分割液化工废污水(PEG与硅粉混合型喂养物);2)硅片进行维护清洁化工废污水(含少量氢佛酸);3)冷却水塔污水水。特性指数:COD 80000-120000mg/L,SS 20000mg/L,纯水电导率50-80mS/cm。
操作工艺设备环节
设计"微滤-环氧树脂活性炭吸附-直流高压反渗透装置工作会更"成本化路径:
微滤体系
:工业陶瓷膜错流回滤(内径0.1μm)除掉99%无定形碳硅粉末,滤渣经煅烧后循环。
聚酯树脂吸附性
:大孔粘附光敏树脂选泽性挪作他用PEG,脱附后PEG饱和度回到至90%上面的。
盐份法除
:SWRO的海水淡化设备黑色素膜组脱盐,产水导电率<1000μS/cm中水回用于分割工作,浓食盐水采用电解抛光分离纯化亚硫酸氢钠灭菌剂。
最后成效
PEG再采用率85%,氢氟酸处理硅粉中水回用率92%,水环境的反复的采用率达90%。设计制作年节约使用购进PEG直接费用约1六百万元,避免危险废弃物应急处置量3.2万吨左右/年。膜设计制作设计制作通量比较稳定在18LMH,刷洗时间段减少至120小时内。
高盐废气清理技术应用重要的步骤
盐份受性
:生物工程法需操作碱度<3%(唯一性枯草芽孢杆菌可以达到15%),物理化学法需考虑到水垢隐患。
分质补救的原则
:优先级拆分有实际价值酚类化合物(如PEG、硅粉),再操作用不完造成的挥发性有机物。
腐蚀性防范
:316L不锈钢原料的或FRP原料可用以于氯化合物<50000mg/L场景,更多浓度值需主要包括钛材。
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