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广州某半导体器件厂研发时中也发生高硅废气(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废气(F⁻ 200-300mg/L)。两者废气混合着后常行成氟硅酸氢氧化铁,传统文化化学发展法难易动态平衡未达标。创业项目追求关联去掉硅和氟(直接排放规定:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
生产废水材料及源头
首要组分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
特征
:晶圆刻蚀工业生活污水、CMP磨研工业生活污水、环保设备清洗阴道水
外理工艺工艺流程图工艺流程图
协同作战滤渣时段
:
两极不起作用池
:
第一名级污泥脱水Ca(OH)₂添加CaF₂和CaSiO₃沉垫;
二是级添加PAC(缔合氯化铝)升星斜板沉淀池。
固液脱离时间段
:
反渗透装置系统
:采用了0.02μm内径膜零件公款私存胶体溶液硅和微细放置物。
深层次脱氟价段
:
生物氧化物铝溶解塔
:多余氟铁离子吸删去。
结果是视觉效果
冒水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远相较于国内基准。
反渗透膜设计通量稳定的在15LMH,化学上的冲洗生长期增加至60天。
污水经压滤后水分含量率<65%,可按大部分固废处理防范。