某半导体技术厂在研发操作过程中应用盐酸系显影液液,所产生浓度高值含NOx工业废水,日处里量50吨。工业废水底含NO2-达到了2000mg/L,且包含有少量有机会光刻胶材质,处里困难程度越大。
2. 污水营养成分及原因
成像繁琐流程残液(首要危害源)
晶圆清洁工作废水处理工艺
有机废气物清洗塔排水沟
3. 治理加工方案
用"最高级空气氧化+有级菌物治理 "不断创新生产技术:
什么是臭氧钝化
:能够二阳极氧化碳引发器诞生O3,将难吸附有机会物分析为小原子成分,此外将NO2-阳极氧化为NO3-。
生物工程膜反馈器(MBR)
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第一名级:缺痒场景下加药甲醇成为碳源,有利于反硝化化学反应化学反应
第二步级:好氧生物工程膜进步骤化学降解有机化学物
电催化长度处置
:应用钛基纳米涂层参比电极,凭借电解法的作用完全彻底葡萄糖氧化残留污染问题物。
4. 既定作用
NOx总氮减至8mg/L下列
COD维持在30mg/L以下
废污水工业废水处理率达60%
系統执行耗电量管理在3.5kWh/吨水,较傳統工艺设备工业节能20%。