半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
投资项目时代背景
该半导体材料企业在长四角地,大部分出产8厘米和12厘米晶圆,日排污废供水量约2000吨。因出产艺僵化,废自来水中包含有多种多样难降解塑料有机肥料物和巨资属铁离子,传统化解决策略易于能够满足也日益严格执行的排污要求。
生活污水组成及特征
废液主要的来自于于3个教学环节:晶圆切工废液所含很大硅粉和切工液剩余的;物理化学自动化机械cnc精密机械加工废液含高电解质溶液硅和考虑小粒;刻蚀洗涤废液所含氟化物、铜化合物等血本属;光刻加工过程废液则所含光阻剂等可挥发污染破坏物。水质监测特性是COD高(800-1500mg/L)、氟化物盐浓度高(200-400mg/L)、悬停物多且所含微量分析血本属。
处里加工制作工艺 流程图
采取"有机化学预处里+什么是生化处里+深层次处里"的搭配鑫霖环保:
控制池均等化水环境用水量
混疑结晶我们要除悬屏物和橡胶胶体部分杂质
生物奠定法特定解决氟化物,加药钙盐构成氟化钙奠定
电离酸性反应池加快电镀废水可生化模式性
触碰氧化反应池降解塑料生物碳感染物
活性酶类炭降解塔进行层次补救
膜分离处理模式保证 溢水饮用水质维持
专门针对含铜焦化废水分开设定化合物对调系统化,回报有实际价值的金属材质铜。
从而疗效
活动开工建设后执行保持稳定,满水后COD<50mg/L,氟化物氧化还原电位<5mg/L,铜阳离子氧化还原电位<0.3mg/L,数据来因素均远远高于中国《智能工农业水危害物减排条件》(GB 39731-2020)。每月可缩短COD减排约300吨,氟化物减排约50吨,回收处理铜金属制约2吨,实现目标了生态环境高管理效益与资金高管理效益的互惠互利。