内容的背景
某大型的半导体技术制做公司地处长半圆的地区,主要的生孩子晶圆和存储芯片。在生孩子时中,晶圆割孔和抛光剂周期生产不少磨研液焦化废水,日访问量危害物量约50吨。原因焦化废河中包含有高质量浓度悬屏物、合金金属铝离子及有机酸修改剂,进行危害物会对区域会造成重要危害,公司需要发展专门操作配制。
焦化废水化学物质及源于
研磨拋光液工业废水一般从何而来于晶圆生产制造中的化工自动化机械拋光(CMP)工作,一般环境破坏物涉及:
透明桌面颗料物
:二钝化硅、钝化铝等抛光颗料,粒度分布在0.1-1μm,密度敢达2000mg/L。
金属制正离子
:铜、铁、锌等,来cnc精密机械加工垫磨花及晶圆从表面彩石层,铜阳离子盐浓度约50mg/L。
有机会填加剂
:属于外壁渗透性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性有机物
:pH值变化大,往往在2-11间。
补救工艺技术具体步骤
专门针对废液基本特征,通过“预外理+生物化+的深度外理”结合制作工艺:
调理池
:均衡教育饮用水出水量,填加碱酸调高pH至中性化。
水泥混凝土析出
:污泥脱水PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),祛除悬浮物物和电解质溶液,沉降后SS祛除率>90%。
离子液体钝化
:用于Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解有机质加上剂,COD除掉率达60%。
微生物处理
:MBR膜菌物的流化床反应器进那步生物降解累计有机质物,COD降为100mg/L以内。
化合物相互交换
:使用树脂胶吸收铜铝离子,冒水铜含量的<0.5mg/L。
砂滤+亲水性炭过虑
:以保证出液清新,到达《废污水综合管理排放规则规则》(GB8978-1996)四级规则。
决定性体验
软件加载安全稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
造纸工业废水处理率达40%,剩于标准产生量,年以减少工业废水产生量1.10万吨。
净化处理投资成本约15元/吨,远降至行业中平均值。